苏州奥科计量仪器有限公司作为国内领先的计量设备制造商之一，专注于为工业生产与科研领域提供高精度、高稳定性的计量解决方案。其干涉仪系列产品，作为核心的终端计量设备，凭借卓越的性能和可靠性，在精密测量领域享有盛誉。以下是其核心干涉仪产品系列的详细介绍。

一、 激光干涉仪系列

该系列是进行长度、角度、直线度、平面度等几何量测量的基石设备。

1. 通用型激光干涉仪：适用于机床、坐标测量机等设备的定位精度、重复定位精度检测与补偿。分辨率可达纳米级，测量范围大，环境适应性强，是制造业进行设备精度验收与周期性维护的标配工具。
2. 高精度/超精密激光干涉仪：针对光刻机、超精密机床、计量标准机等顶级装备的研发与检测需求设计。采用稳频激光源和先进的环境补偿模块，在恒温恒湿的计量室内可实现亚纳米甚至皮米级的不确定度，是建立和传递长度基准的关键设备。

二、 白光干涉仪（垂直扫描干涉仪）系列

该系列专攻微观形貌和表面粗糙度的非接触式三维测量。

1. 实验室级白光干涉仪：具备高垂直分辨率（可达0.1nm）和大视场，适用于精密光学元件、微机电系统（MEMS）、半导体晶圆、超光滑表面等的表面粗糙度、台阶高度、微观形貌的定量分析。自动化程度高，软件功能强大，可输出丰富的三维形貌参数。
2. 在线/现场型白光干涉仪：针对生产线上关键部件的快速检测需求进行了优化，虽然牺牲了部分测量范围或分辨率，但测量速度更快，抗环境振动能力更强，能无缝集成到自动化产线中，实现工艺监控与质量全检。

三、 迈克尔逊/法布里-珀罗干涉仪系列

主要面向光学特性、薄膜厚度、折射率等参数的测量。

1. 薄膜厚度测量干涉仪：利用干涉原理，可非接触、无损地测量透明或半透明薄膜的厚度（从纳米到微米级），广泛应用于光学镀膜、液晶面板、光伏等行业的质量控制。
2. 光学面形检测干涉仪（如菲索型）：专门用于检测平面、球面和非球面光学元件的面形误差（PV值、RMS值）。与高精度标准镜配合使用，是光学车间和镜头制造商进行镜片检验与工艺反馈的核心设备。

四、 专用型与定制化干涉测量系统

除了标准产品线，苏州奥科还提供针对特定应用的解决方案。

1. 多轴同步测量系统：集成多路激光干涉仪，可同时对运动平台的多个自由度（如XY位移、俯仰、偏摆）进行同步实时测量与误差分离，用于精密运动平台的标定与性能评估。
2. 大尺寸/特殊环境测量系统：可为航空航天（大型构件装配）、土木工程（桥梁变形监测）等领域提供适应现场环境（温度、振动）的大尺寸干涉测量方案。
3. 教学与科研用干涉仪：结构简洁、原理清晰，配套完善的实验指导，专为高等院校和科研院所的教学实验及基础研究设计。

终端计量设备的核心价值

苏州奥科的干涉仪产品作为终端计量设备，其核心价值在于：

• 溯源性与权威性：测量结果可直接或间接溯源至国家乃至国际长度基准，确保数据的绝对可信与可比性。
• 工艺优化与质量控制：为研发和生产过程提供精确的量化数据，是改进工艺、提升良率、执行严格质量标准的“眼睛”和“尺子”。
• 设备维护与精度保障：定期使用干涉仪对生产设备进行精度检测与补偿，是维持设备长期稳定运行、保障产品一致性的关键环节。

###

苏州奥科计量仪器的干涉仪产品列表，涵盖了从宏观几何量到微观形貌，从实验室研究到工业在线检测的广泛需求。其产品以出色的精度、稳定性和专业的本土化服务，成为中国高端制造和科技创新体系中不可或缺的精密计量基石。用户可根据具体的测量对象、精度要求、使用环境及预算，选择最合适的干涉仪型号，构建起可靠的终端计量能力。